为什么新买的产品，无法控制？

北京某高校，新购买的质量流量控制器AST10-DBCMX，满量程100SLM，设定20SLM以下，有反馈值、有气体流出，在大于20SLM时，无气体流出。

排查过程

1、现场将MFC出气口排空，使用我司AST10-DBCMX控制，进气口压力调整为0.3Mpa，观察现象：没有好转，和上面现象一致，排除是设备系统原因。

2、使用万用表测量传感器电阻，没有问题；阀电压也正常，排除MFC传感器故障。

3、将MFC从气路当中拆卸下来，将MFC分解，发现在通道、接口和阀门处都有污染物，同现场工程师确认，气源到MFC的距离较远，判断是气路不干净造成的污染。

找到问题

气路污染。

解决办法

大气量吹扫管道或者在MFC前端加一个过滤装置。

关键知识点

1、防止污染的有效方法首先要保证气源的纯净和干燥，同时要保证管路密封良好。

2、建议加装过滤器和干燥器。

3、使用腐蚀性气体之后要用惰性气体吹扫，防止腐蚀性气体存留。

4、为了保养流量计可以在管路设计时候考虑旁路吹扫等。 流量计保养还要注意定期校准。