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质量流量控制器的优势有哪些?

来源:
发布时间:
2022/01/05 14:10:10
浏览量:
【摘要】:
质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。那么,质量流量控制器的优势有哪些?

  质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。那么,质量流量控制器的优势有哪些?


  (1)精确地定量控制流量


  质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。


  (2)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。


  对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。


  (3)测量控制的自动化


  质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。


  (4)适用范围宽


  有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品*小流量范围可达0~5 sccm,*大流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。