质量流量计的用途和特点介绍

　　质量流量计是一种重要的流量测量仪表，也是平时测量中运用比较多的测量仪器，因此对质量流量计用途特点了解?能够帮助测量者更好的测量。

　　气体质量流量计通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位规定为:SCCM---标准毫升/分,SLM---标准升/分标准状态指：温度—0℃,气压—101325Pa(760mm Hg)。因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，密度乘以体积流量就等于质量流量，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。质量流量计和质量流量控制器在使用过程中，无论工作气体的温度、压力如何变化，它所显示的流量总是标准状态下的体积流量。这是质量流量计的主要优点。

　　用途和特点：质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，质量流量计（MFM）仅用于测量气体的质量流量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

　　质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点,其操作使用方便,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。